功率密度：超聲波清洗器超聲波的功率密度越高，空化作用越強，速度越快，清潔作用越好，但關于精細的外表光潔度甚高的物件，選用長期的高功率密度清潔會對物件外表發生空化、腐蝕。

超聲頻率：適用于工件粗、臟、初洗，頻率高則超聲波方向性強，適合于精細的物件清潔。

清潔高溫：一般來說，超聲波清洗器超聲波在50°C~60°C時的空化作用最佳，清潔劑也不是溫度越高，作用越明顯，有可能會高溫失效，一般超聲波在超越85°C時，清潔作用已變差。所以實踐使用超聲波清潔時，選用50°C~70°C的工作溫度。