超聲波清洗機因誤操作等原因在清洗槽內無水的狀態下被啟動工作時，或其它非正常原因，會造成換能器工作溫度升高，甚至超過換能器的最高耐受溫度，如果不采取保護措施，很容易導致換能器過熱損壞，然而目前絕大多數超聲波清洗機不具備換能器保護措施，少數超聲波清洗機采用測量清洗槽內水位的方法對換能器進行保護，就是用水位傳感器檢測清洗槽內是否有水，沒有水就禁止超聲波清洗機工作，但是這種方法存在明顯不足，一是測量清洗槽內水位不能直接反映換能器工作狀況是否異常；二是水位傳感器可靠性不高，必須經常維護才能保持良好的狀態。

超聲波發生器將檢測到的換能器溫度值與預定溫度值進行比較，如果低于預定溫度值則繼續驅動換能器工作；如果高于預定溫度值，則停止驅動換能器工作。預定溫度值可以是超聲波發生器內部預設的固定值，也可以是通過操作面板設定的。

所述的超溫停機保護功能可由電子電路或單片機實現。